声表面波传感器的两种基本构型为延迟线型(delayline)和谐振型(resonator),图1所示为延迟线型和谐振型的传感器结构类别。延迟线型和谐振型声表面波传感器在结构上均由压电基片、叉指换能器和发射栅共同构成。延迟线型声表面波传感器通过天线接收正弦激励信号,传递至叉指换能器(interdigitaltransducer,IDT),正弦信号在压电基片激励出声表面波,实现声波和电信号的转换。声表面波在压电基片上传播经过一段时间延迟到达反射栅,反射栅将部分声波反射回来,反射的声波又通过IDT转换为正弦激励信号,从而实现电声转换。谐振型声表面波传感器将IDT置于2个全反射的反射栅间。激励的声表面波的频率与谐振器频率相等时,声表面波在反射栅间形成驻波,反射栅反射的能量达到比较大。外部激励信号加载在输入IDT上,IDT将电信号转换为声表面波,声表面波沿压电晶体表面向两边传播,经两侧反射栅反射叠加由输出IDT输出,终实现声/电转换。早期声表面谐振器的缺陷是插入损耗大。深圳国产声表面谐振器现货
早期声表面谐振器的缺陷是插入损耗大(一般在15dB以上),而这对于要求低功耗的通信设备特别是接收前端是完全无法接受的。为满足现代通信系统及其它用途的要求,人们通过开发高性能的压电材料和改进IDT设计,使器件的插入损耗降低到3dB~4dB,可达1dB。而在众多压电材料研究成果中,更为引人注目的是日本村田制作所发明的ZnO/蓝宝石层状结构基片材料,利用这种基片材料,已制造出1.5GHzPDC用射频声表面谐振器,其插入损耗只1.2dB。龙岗区声表面谐振器曲线声表面波谐振器的主要功用在于把杂讯滤掉。
为适应电子整机高频、宽带化的要求,声表面谐振器也必须提高工作频率和拓展带宽。研究表明,当压电基材选定之后,声表面谐振器的工作频率则由IDT电极条宽决定,IDT电极条愈窄,频率愈高。采用0.35μm~0.2μm级的半导体微细加工工艺,可制作出2GHz~3GHz的声表面谐振器。拓展声表面谐振器的带宽通常从优化设计IDT的电极结构入手。如将IDT按串联和并联形式连接成梯形若干级联的结构,输入/输出直接实现连接,采用0.4μm以下的微细加工技术,就可制作出用于无线局域网(LAN)的2.5GHz梯形结构谐振式声表面谐振器,带宽达100MHz;在多重模式滤波器中,采用纵向连接的滤波器带宽要比横向耦合型滤波器大一些,因此被大多用于蜂窝电话和寻呼机的RF滤波,而后者具有陡削的窄带特性,可用于个人数字蜂窝(PDC)和模拟电话的中频(IF)滤波。[2]
BAW与SAW相比可以提供更好的滤波特性,如高Q值,对应的高隔离度,且BAW工艺能够提供更好的高频特性(可到6GHz,目前某些SAW供货商可以提供性能较好的工作在2GHz以上的SAW滤波器,如日本村田),以及更高的功率承受能力。BAW技术广泛应用于频率高于1.9GHz的新型LTE频带中,以及某些对干扰敏感的频带,如2.4GHz与Wi-Fi频带靠近的4G频段。而SAW的独特优势在于其小制备成本,电平衡输出能力(简化电路设计),单个衬底切片上可集成多个滤波器。由于有低功耗、小尺寸的要求,目前智能手机使用较多的是小体积高性能的声学滤波器。
1.什么是声表面波谐振器声表谐振器/声表面波振荡器,大多用于工作在20MHz以上频段的次中频滤波。它在抑制电子设备高次谐波、镜像信息、发射漏泄信号,以及各类寄生杂波干扰等方面起到了良好的作用。特性:低系列阻值,石英稳定性,小尺寸
2.声表面波谐振器工作原理原理:一种性质相当独特的机械波,当它沿着晶体表面行进时,在垂直晶体表面的方向,能量会以指数形式衰减,而当其深入超过一个波长深度时,能量密度则降为在表面时的十分之一,因此这种波在晶体表面行进时,主要的优点就是能量能够集中于表层。这种独特的性质,使得表面声波组件可以很容易地运用其所携带的能量
3.声表面波谐振器作用作用:主要功用在于把杂讯滤掉,比传统的LC滤波器安装更简单、体积更小。SAW声表面波元件的制作可分为晶圆清洗、镀金属膜、上光阻、显影、蚀刻、去光阻、切割、封装、等相关步骤,具有可大量生产、损耗低及选择性高,适用于各型手机等特点。有性能稳定、尺寸小的特点,主要应用于无线设备。声表滤波器中的FL系列主要应用于蜂窝如移动通讯、接收器等。FM系列有低损耗性、大强度的排他性以及对外部阻抗的低匹配性。它可应用于汽车TPMS、远程无键进入(RKE)、安全系统和有源RFID标签。 射频前端模块是通信系统的重要组件。珠海本地声表面谐振器制定
声表面波谐振器的独特性质,使得表面声波组件可以很容易地运用其所携带的能量。深圳国产声表面谐振器现货
SAW滤波器的小型片式化,是移动通信和其他便携式产品提出的基本要求。为缩小SAW滤波器的体 积,通常采取三方面的措施:一是优化设计器件用芯片,使其做得更小;二是改进器件的封装形式,现已由传统的圆形金属壳封装改为方形或长方形扁平金属封装或 LCCC(无引线陶瓷芯片载体)表面贴装;三是将不同功能的SAW滤波器封装在一起构成组合型器件以减小PCB面积,如应用于1.9GHzPCS终端 60MHz带宽的双频段SAW滤波器以及近来富士通公司开发的双带式(可支持模拟和数字两种模式)便携式手机用SAW滤波器,均装有两个滤波器。深圳国产声表面谐振器现货
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